Минпромторг отменил критически важные работы по российским литографам 90 нм и ниже

Как выяснил CNews, Минпромторг отменил часть тендеров, которые критически необходимы для суверенной работы отечественных литографов.

Так, министерство отменило тендер на освоение в России опытно-промышленного производства слитков фторида кальция монокристаллического для оптических элементов ультрафиолетовой фотолитографии за 1,6 млрд руб. Тендер был размещен 25 ноября 2025 г. и отменен 1 декабря. Причина отмены в документах не указывается. Мы знаем только, что решение о ней принял директор департамента металлургии и материалов Минпромторга Иван Марков.

Слитки фторида кальция монокристаллического применяются при изготовлении оптических элементов эксимерных лазеров с длиной волны 193 нм, входящих в состав высокоразрешающих фотолитографических установок, обеспечивающих производство изделий электронной компонентной базы (ЭКБ) с топологической нормой 90 нм и ниже.

Сейчас поставки этого материала в Россию недоступны. Его производством занимаются Nikon (Япония), Corning (США) и Hellma (Германия). А те слитки, которые производятся в нашей стране, значительно ниже современного мирового уровня. По этой причине отсутствует возможность разработки и производства передовых отечественных фотолитографических установок, отмечается в техзадании.

Министерство отменило и тендер на разработку технологии получения и постановки на производство монокристаллов тербий скандий лютеций алюминиевого граната за 400 млн руб. Он нужен для изготовления поляризационного оптического изолятора (ячейки Фарадея), элемента лазерных систем, пропускающего свет только в одном направлении.

Потребителями его являются изготовители лазерных систем и ячеек Фарадея: АО «НИИ «Полюс им. М.Ф. Стельмаха», ООО «АВЕСТА», ООО «ВПГ ЛАЗЕРУАН». Внедрение разработанной технологии и организация производства такого материала позволит обеспечить создание отечественных лазерных систем современного уровня.

Несколько опрошенных собеседников среди производителей ЭКБ уверены, что тендер отменен из-за отсутствия финансирования. «Скорее всего, бюджеты распределяются на более нужные проекты», — говорит один из собеседников.

«Без такого материала мы не сможем создавать литографы, способные работать с топологией 90 нанометров и ниже», — говорит собеседник среди производителей оборудования.

«Скорее всего, отмена связана не с отказом от развития этих критических технологий, а с пересмотром стратегии их реализации в сторону большей централизации, увязки с другими проектами или поиска более эффективного пути (например, приобретение готовой технологии за рубежом через третьи страны, создание совместного предприятия), — говорит Александр Тимошенко, глава ООО «Троичные Технологии». — В текущих условиях Минпромторг вынужден постоянно перераспределять ресурсы между множеством «прорывных» направлений, что приводит к таким непрозрачным для внешних наблюдателей решениям».

По данным ведомства, программе по развитию электронного машиностроения не хватает 33,1 млрд руб. Необходимый объем финансирования мероприятий комплексной программы с учетом недофинансирования прошлых лет составляет 123,9 млрд руб., а объем бюджетных ассигнований на финансирование НИОКР, включая электронное машиностроение на 2026-2028 гг. составляет 90,8 млрд руб., следует из презентации Минпромторга.

Так, запланированный объем финансирования в 2024 г. 43,3 млрд руб. А фактический составил 23,7 млрд руб. В 2025 г. разница стала еще заметнее: при плане в 40 млрд руб., реальный объем выделенных властями средств составил 15,7 млрд руб., следует из документа.

Проблема переноса сроков работ по радиоэлектронике поднялась еще на форуме «Микроэлектроника 2025» в сентябре. Тогда ряд разработок отечественного оборудования для производства микроэлектроники перенесут на один год.

Отменен был и тендер на разработку технологии изготовления порошков танталовых конденсаторных за 800 млн руб. Материал нужен для изготовления анодов оксидно-полупроводниковых и оксидно-электролитических объемно-пористых танталовых конденсаторов. Пока наши производители для обеспечения функционирования, стабильности технических параметров при изготовлении оксидно-полупроводниковых конденсаторов используют танталовые порошки с высоким удельным зарядом зарубежного производства, отечественные материалы-аналоги с уровнем параметров и характеристик, соответствующих настоящим техническим требованиям, отсутствуют.

Зарубежными аналогами разрабатываемого материала являются порошки фирмы H.C.Starck (ФРГ) и Hunan Kuntal Enginttring (КНР).

«Актуальность проекта заключается в обеспечении кратно растущей потребности российских потребителей, в том числе по государственным контрактам, и импортозамещении порошка танталового конденсаторного высокозарядного, — следует из техзадания. — Внедрение разработанной технологии и организация производства разрабатываемого материала для изготовления конденсаторов позволит снизить импортную зависимость предприятий российской радиоэлектронной промышленности и обеспечить создание отечественных ЭКБ радиоэлектронной аппаратуры современного уровня».

Конкурс был опубликован 25 ноября и отменен 1 декабря тем же департаментом без объяснения причин.

Сообщение Минпромторг отменил критически важные работы по российским литографам 90 нм и ниже появились сначала на Время электроники.